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氦檢漏儀維修具體步驟

更新時間:2024-10-11 瀏覽次數:193

  氦檢漏儀維修是一個專業且細致的過程,需要對設備的結構和工作原理有深入的了解。
  
  一、機械泵故障處理
  
  1、不動作問題:檢查電源電壓、開關狀態、繞組是否斷路或接地,以及電機是否過熱。
  
  2、聲音異常問題:檢查油位、油質和油溫,確保油霧過濾器正常工作。
  
  二、分子泵故障處理
  
  1、TMP顯示“0”:檢查前級壓力、真空規管、機械泵油和系統泄漏情況,以及葉片或轉子是否損壞。
  
  2、加速指示燈不亮:更換保險絲或檢查是否有短路現象。
  
  3、故障燈亮:檢查電路板設置開關位置和風扇運行狀態。
  

氦檢漏儀維修

 

  三、質譜室故障處理
  
  1、燈絲無法啟動:在確認機械泵和分子泵正常工作后,若燈絲仍無法發射離子流,則需更換離子源。
  
  2、本底信號異常:考慮放大器是否故障,通常用戶無法解決,需交由專業維修處理。
  
  四、檢測開始時故障處理
  
  檢漏鍵無效:檢查燈絲是否啟動,以及I/O短接插頭是否正確連接。
  
  五、自動校準結束故障處理
  
  自動校準失敗:檢查自動校準設置、溫度傳感器連接和靈敏度,必要時清洗質譜室。
  
  六、檢漏時故障處理
  
  1、不轉換至細檢方式:檢查檢漏口壓力和粗檢指示燈狀態。
  
  2、靈敏度低:檢查三極規所測壓力和離子源污染情況。
  
  3、氦本底太高:檢查機械泵油、系統泄漏、真空管路污染和環境因素。
  
  總的來說,氦檢漏儀維修是一個涉及多個方面的復雜過程,需要專業知識和技術。通過正確的故障診斷和專業的維修服務,可以有效恢復設備的功能,延長使用壽命。用戶在選擇維修服務時,應考慮服務商的專業性和服務質量,以確保設備的穩定可靠運行。
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